2.真空室及真空发生系统的维护： 1.真空室和电极板是加工工件的工作区。使用一段时间后，百格法测附着力 掉漆污垢会残留并粘附在腔体上。电极板和室壁。处理：连续使用一个月后，用蘸有酒精的干净布（纸）清洁所有电极板和腔壁，保持腔体清洁。 2.观察窗供工作人员在工作中观察型腔内的放电状态。使用一段时间后，
